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PEGASUSの各モジュールを組み合わせて用いることでこのような解析を行うことが可能です
マグネトロンスパッタ装置の解析
CCP装置内のプラズマ解析
ICP装置内プラズマ解析
マイクロプラズマの解析
真空蒸着装置内の解析
イオン注入解析
各種真空装置 / 真空ポンプ内の希薄気体解析
表面形状シミュレーション
イオンビームの軌道解析
イオンプレーティング解析
新着情報
2024.9.27
コンタミ成長シミュレーションモジュール(CONTAMI2D)を追加しました。
2024.9.21
2024年9月18日(水)〜9月20日(金)10:00〜17:00 東京ビッグサイト 東ホールにて 開催されている VACUUM2024 真空展 に出展しました。ブースの様子。
2024.7.12
2024年7月12日にリリース版を公開しました。
2024.5.30
PEGASUS関連論文を4編追加しました。
2023.12.4
2023年11月29日(水)〜12月1日(金)10:00〜17:00 東京ビッグサイト 西ホールにて 開催された VACUUM2023 真空展 に出展しました。ブースの様子です。
2023.7.7
2023年7月7日にリリース版を公開しました。
2022.10.24
2022年10月19日(水)〜21日(金)10:00〜17:00 東京ビッグサイト 西ホールにて 開催される VACUUM2022真空展に出展しました。
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関連論文
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