シャワーヘッド型のCVD装置内ガス流れ解析

計算条件

シャワーヘッド型のCVD装置内ガス流れ解析
  • N2 流量 300sccm
  • 排気口 圧力 0.1Pa
  • 温度 300K

計算モデル図。モデル1はシャワーヘッド構造の端から流入、モデル2は中央から流入するとした。 排気口圧力はいずれも 0.1Pa とした。基板の直径は 350mm 程度である。

計算結果

  • モデル1

    モデル1

  • モデル1 シャワーヘッド上部 圧力分布 [Pa]

    モデル1 シャワーヘッド上部 圧力分布 [Pa]

  • モデル2

    モデル2

  • モデル2 シャワーヘッド上部 圧力分布 [Pa]

    モデル2 シャワーヘッド上部 圧力分布 [Pa]

  • モデル1

    モデル1

  • モデル1 基板上部 圧力分布 [Pa]

    モデル1 基板上部 圧力分布 [Pa]

  • モデル2

    モデル2

  • モデル2 基板上部 圧力分布 [Pa]

    モデル2 基板上部 圧力分布 [Pa]

  • モデル1

    モデル1

  • モデル1 縦断面 圧力分布 [Pa] (log スケール)

    モデル1 縦断面 圧力分布 [Pa] (log スケール)

  • モデル2

    モデル2

  • モデル2 縦断面 圧力分布 [Pa] (log スケール)

    モデル2 縦断面 圧力分布 [Pa] (log スケール)

シャワーヘッド構造の流入口を持つCVD装置内のガス流れの解析を行います。 シャワーヘッドのノズル直径と長さ、ノズル位置、流入口の位置、シャワーヘッド上部の隙間間隔などが 異なる計算体系での計算例です。