多層膜PVD

計算条件

  • 上端境界から 入射エネルギー　10eV,入射角度分布　cos^4θ
  • 3種類のガスを順に流入
  • 各ガス種のサンプル粒子数は共に500万個

計算結果

  • 入射角度分布

    入射角度分布

  • 最終形状(T=200[s])

    最終形状(T=200[s])

計算時間：Intel Xeon 3.8GHz, 約150[s]