動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア
動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア（Simulation of Atomic Scattering in Amorphous MAterial based on Liquid model; SASAMAL）産業技術総合研究所（中部センター）基礎素材研究部門の宮川佳子主任研究員らが開発した、高線量イオン注入およびスパッタリングシミュレーションプログラムです。
計算手法の概要
SASAMALは、産業技術総合研究所の宮川佳子主任研究員が主になって開発した、２体衝突近似に基づくモンテカルロ法によるシミュレーションコードです。２体衝突近似（Binary Collision Approximation; BCA）とは、ターゲッ ト（固体）内を運動するイオンおよび反跳原子の運動を追跡する際に、固体内の複雑なポテンシャル場中の衝突（多体衝突）を考慮することをせずに、２体衝突の連続として取り扱う近似法です。この近似は、固体内を運動する粒子の運動エネルギーが比較的高い（数10eV以上）場合に妥当なものとなります。 また、 非弾性エネルギー損失 弾き出しエネルギー 表面結合エネルギー 高線量のイオン注入したときのターゲット組成の動的な変化（dynamic - SASAMAL） を考慮にいれてシミュレーションを行っています。