PEGASUS DVD-ROM 2015/6/12 版

マニュアル
マニュアルを再構成して RGS3D, PIC-MCCM2D/3D, DSMCM2D/3D, FPSM2D/3D, SASAMAL/SPUTSM 用の個別マニュアルを作成しました。 上記のモジュールをご使用の方は、モジュール専用の個別マニュアルを ご覧下さい。
GUIM
3次元モジュールで 球、円錐、円柱の障害物や、CADで作成 した任意形状のSTLファイルを読み込み、モデルを作成出来るようにな りました。形状は指定したメッシュの解像度で直交化されます。 現在この機能を使える3Dモジュールは、 PIC-MCCM3D, DSMCM3D です。
ワイブキードライバ
ワイブキードライバを Ver 6.30 に更新しました。 ライセンスチェックの安定性が向上しました。
DSMCM, DSMCM3D
並列計算開始時に、計算が止まってしまう場合がある問題を 修正しました。
RGS3D
初期密度や初期圧力を指定して並列計算した場合に、計算開 始時に止まってしまう場合がある問題を修正しました。
粒子種および反応データベース
粒子種データベースにSiOを追加しました。
反応データベースに、シラン(SiH4) 関連の反応を84個追加しました。 (反応式番号515010〜515045、515051〜515093、515101〜515105)
反応データベースに、SF6関連の反応を51個追加しました。 (反応式番号160030〜160035、160055〜160059、160066、160077、 160081〜160088、160091〜160095、 160101〜160107、160111〜160117、 90011〜90013、94004〜94007、 94030、94031、97003、97004)
各々の反応式についてはPEGASUS使用説明書(2次元版)の第5.7.1節を ご参照ください。
  
同じレート係数で表される複数の反応を簡便に取り扱うため、heavy_heavy_config ファイルをPEGASUS\data 内に新たに追加しました。 今のところこのファイルを参照することにより
   X(-) + Y(+) --> X + Y
   X(-)= SF4(-), SF3(-), SF2(-)
   Y(+)= SF5(+), SF4(+), SF3(+), SF2(+), SF(+), F(+), F2(+)
および
   X(-) + M --> X + M + e(-)
   X(-)= SF6(-), SF5(-), SF4(-), SF3(-), SF2(-)
   M= SF6, SF5, SF4, SF3, SF2, SF, S, F, F2
の反応を取り扱うことが可能です。heavy_heavy_config ファイルに関しては PEGASUS使用説明書(2次元版)の第5.6.6節をお読みください。
反応式番号171001 Cl(-)+Cl2(+) --> 3Cl を Cl(-)+Cl2(+) --> Cl+Cl2 へ、 またレート定数を1.5E-7 から5.0E-7 へ変更しました。
lifetime_configに、C4F8(*) --> C4F8 を追加しました。
PHM
ドライブ電極においてプラズマに注入されるパワーが指定された値になるように、 印加する電圧の振幅を自動的に調節しながらシミュレーションをおこなう機能を オプションとして追加しました。この機能は option.dat ファイルをもちいて実行します。 これに関してはPEGASUS使用説明書(2次元版)の第5.5.18節をご参照ください。
  
異なる周波数で駆動する電極を用いる体系において、PHM が出力する dens_1.out(電子の数密度)等のファイルは短い周期(高い周波数)における 周期平均値です。これに対し長い周期における平均値は、各粒子種の数密度を dens_m.outl、生成率をsrate_m.outl、電子温度をtemp_1.outl、電位を pot.outl というファイルにそれぞれ出力するようにしました(mは粒子種の番号)。 また短い周期に対する時間−空間依存の電場はtime_efield.out というファイルに出力されますが、長い周期に対するものを time_efield.outl というファイルに出力するようにしました。 これに関しては、PEGASUS使用説明書(2次元版)の第4.7.1節における ``時間依存の電場''ならびに``2周波の場合の周期平均量'' の項をご参照ください。

PEGASUS DVD-ROM 2014/6/13 版

  • PHM
    • イオンの計算に関して「dt をN倍する」機能を組み込みました。この機能を使うことにより 計算時間がかなり短縮されます。(Ar/Cl2のICPでN=10とした場合約1/3に短縮されました。) PEGASUS使用説明書(2次元版)の第2.8.3節をご参照ください。
  • ECSDB(粒子種と反応のデータベース)
    • 粒子種としてあらたにAr2とAr2(+)を追加し、それに関連する8個の反応を追加しました。 PEGASUS使用説明書(2次元版)の第5.7節をご参照ください。
  • FPSM2D/3D
    • 粒子種、反応式が多いときGUIでの入力を行わなくても、CSVファイルから入力データを生成する プログラムを追加しました。
    • イオンの流入境界条件で、IMCSMの出力ファイルedf_adf_k_n.out.1(入射角度・エネルギー 2次元マップ)も入力可能になりました。また、入射角度・エネルギーの2次元マップCSVファイル も入力可能になりました。
    • 上記の詳細は、FPSM2D/3D使用説明書をご参照ください。
  • 同梱のWIBU-KEY ランタイムドライバーのバージョンを 6.20 に上げました。

PEGASUS DVD-ROM 2014/2/25 版

  • PIC-MCCM 3D
    • 並列版を追加しました。
  • DSMCM 3D
    • DSMCM の 3次元版を追加しました。並列版もあります。

PEGASUS CD-ROM 2013/12/26 版

  • RGS3D
    • 長さの単位系として nm (ナノメートル)を選択した場合の不具合を修正しました。
    • モニタリング点が定義されていない場合に排気速度の時刻歴 ps_monitor.gtd の出力が 正しくない不具合を修正しました。
  • DSMCM
    • 気相反応を考慮する機能を追加しました。
    • 圧力制御境界の制御の仕方を、反射率を制御する方式から、隣接するセルの分圧の比率に応じた流量を流入させる 方式に変更しました。
  • PIC-MCCM 3D
    • z方向の周期境界条件の不具合を修正しました。

PEGASUS CD-ROM 2013/06/21 版

  • GUIM
    • 気相モジュールで構造物内に物理量が存在しない場合は、構造物を白抜きで表示し、 最小値は解析領域での値を表示するようにしました。
    • カラーコンターで中間値を表示するようにしました。
    • コンターラインが表示できるようにしました。
    • ``ガス種、反応式の選択'' 画面で、各反応式において断面積データもしくはレート定数を グラフで表示するようにしました。
    • 時刻歴データの表示画面で、表示すべき個数が多いときは、番号と線種を枠外に表示する ようにしました。
  • ECSDB データベース
    • [重要] 窒素、酸素、および窒素酸素化合物に関する今までの粒子種を見直し、 粒子種データベースの内容を変更しました。またそれにともない、関連する反応の 衝突断面積/レート定数のデータベースも変更しました。粒子種の変更に関しては、 別途配布の「窒素、酸素、および窒素酸素化合物に関する粒子種」をご参照下さい。 また反応式につきましてはPEGASUS使用説明書(2次元版)の第5.7節 「粒子種番号と反応式番号」をご参照下さい。
    • [重要] 上記変更にともない粒子種番号が変更されましたので、PIC-MCCM、PHM、 DSMCM、およびNMEM で窒素あるいは酸素を用いたシミュレーションのインプット データはそのままでは新しいデータベースに対応しません。その場合には GUIM の``ガス種、反応式の選択'' であらためて粒子種と反応式を選択し直した後、 境界条件と制御パラメータを粒子種との対応が取れるように修正してください。 うまく移行できない場合には、弊社にお問い合わせ下さい。
    • フッ素分子の励起、電離反応を追加しました。
  • PHM
    • 今までの計算手順では、1回の反復において電子・イオンの輸送計算を先に行なった 後で電子のモンテカルロ計算(EMCSM)を実行していましたが、この順番を逆にしました。 すなわちまず電子のモンテカルロ計算を行なった後電子・イオンの輸送計算を 行うようにしました。
  • NMEM
    • 計算の途中で圧力がゼロなど非現実的な値になった場合、エラーメッセージを出力し、 強制的に実行を終了するようにしました。
  • FPSM2D/FPSM3D
    • 反応確率タイプを追加しました。
  • HTRM2D [新モジュール]
    • 物体表面間の放射伝熱を考慮した2次元熱伝導解析モジュール HTRM2D (Heat Transfer with Radiation Module 2D)を新たにリリースしました。 使用方法に関しては、「PEGASUS/HTRM2D 使用説明書」をご参照下さい。