PEGASUS更新履歴 - ペガサスソフトウェア株式会社

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PEGASUS DVD-ROM 2015/6/12 版

マニュアル: マニュアルを再構成して RGS3D, PIC-MCCM2D/3D, DSMCM2D/3D, FPSM2D/3D, SASAMAL/SPUTSM 用の個別マニュアルを作成しました。上記のモジュールをご使用の方は、モジュール専用の個別マニュアルをご覧下さい。
GUIM: 3次元モジュールで球、円錐、円柱の障害物や、CADで作成した任意形状のSTLファイルを読み込み、モデルを作成出来るようになりました。形状は指定したメッシュの解像度で直交化されます。現在この機能を使える3Dモジュールは、 PIC-MCCM3D, DSMCM3D です。
ワイブキードライバ: ワイブキードライバを Ver 6.30 に更新しました。ライセンスチェックの安定性が向上しました。
DSMCM, DSMCM3D: 並列計算開始時に、計算が止まってしまう場合がある問題を修正しました。
RGS3D: 初期密度や初期圧力を指定して並列計算した場合に、計算開始時に止まってしまう場合がある問題を修正しました。
粒子種および反応データベース: 粒子種データベースにSiOを追加しました。; 反応データベースに、シラン(SiH4) 関連の反応を84個追加しました。（反応式番号515010〜515045、515051〜515093、515101〜515105）; 反応データベースに、SF6関連の反応を51個追加しました。（反応式番号160030〜160035、160055〜160059、160066、160077、 160081〜160088、160091〜160095、 160101〜160107、160111〜160117、 90011〜90013、94004〜94007、 94030、94031、97003、97004）; 各々の反応式についてはPEGASUS使用説明書（２次元版）の第5.7.1節をご参照ください。; 　　; 同じレート係数で表される複数の反応を簡便に取り扱うため、heavy_heavy_config ファイルをPEGASUS\data 内に新たに追加しました。今のところこのファイルを参照することにより; 　　　X(-) + Y(+) --> X + Y; 　　　X(-)= SF4(-), SF3(-), SF2(-); 　　　Y(+)= SF5(+), SF4(+), SF3(+), SF2(+), SF(+), F(+), F2(+); および; 　　　X(-) + M --> X + M + e(-); 　　　X(-)= SF6(-), SF5(-), SF4(-), SF3(-), SF2(-); 　　　M= SF6, SF5, SF4, SF3, SF2, SF, S, F, F2; の反応を取り扱うことが可能です。heavy_heavy_config ファイルに関しては PEGASUS使用説明書（２次元版）の第5.6.6節をお読みください。; 反応式番号171001 Cl(-)+Cl2(+) --> 3Cl を Cl(-)+Cl2(+) --> Cl+Cl2 へ、またレート定数を1.5E-7 から5.0E-7 へ変更しました。; lifetime_configに、C4F8(*) --> C4F8 を追加しました。
PHM: ドライブ電極においてプラズマに注入されるパワーが指定された値になるように、印加する電圧の振幅を自動的に調節しながらシミュレーションをおこなう機能をオプションとして追加しました。この機能は option.dat ファイルをもちいて実行します。これに関してはPEGASUS使用説明書（２次元版）の第5.5.18節をご参照ください。; 　　; 異なる周波数で駆動する電極を用いる体系において、PHM が出力する dens_1.out（電子の数密度）等のファイルは短い周期（高い周波数）における周期平均値です。これに対し長い周期における平均値は、各粒子種の数密度を dens_m.outl、生成率をsrate_m.outl、電子温度をtemp_1.outl、電位を pot.outl というファイルにそれぞれ出力するようにしました（mは粒子種の番号）。また短い周期に対する時間−空間依存の電場はtime_efield.out というファイルに出力されますが、長い周期に対するものを time_efield.outl というファイルに出力するようにしました。これに関しては、PEGASUS使用説明書（２次元版）の第4.7.1節における ``時間依存の電場''ならびに``2周波の場合の周期平均量'' の項をご参照ください。

PEGASUS DVD-ROM 2014/6/13 版

PHM
- イオンの計算に関して「dt をN倍する」機能を組み込みました。この機能を使うことにより計算時間がかなり短縮されます。(Ar/Cl2のICPでN=10とした場合約1/3に短縮されました。) PEGASUS使用説明書（2次元版）の第2.8.3節をご参照ください。
ECSDB（粒子種と反応のデータベース）
- 粒子種としてあらたにAr2とAr2(+)を追加し、それに関連する8個の反応を追加しました。 PEGASUS使用説明書（２次元版）の第5.7節をご参照ください。
FPSM2D/3D
- 粒子種、反応式が多いときGUIでの入力を行わなくても、CSVファイルから入力データを生成するプログラムを追加しました。
- イオンの流入境界条件で、IMCSMの出力ファイルedf_adf_k_n.out.1(入射角度・エネルギー 2次元マップ)も入力可能になりました。また、入射角度・エネルギーの2次元マップCSVファイルも入力可能になりました。
- 上記の詳細は、FPSM2D/3D使用説明書をご参照ください。
同梱のWIBU-KEY ランタイムドライバーのバージョンを 6.20 に上げました。

PEGASUS DVD-ROM 2014/2/25 版

PIC-MCCM 3D
- 並列版を追加しました。
DSMCM 3D
- DSMCM の 3次元版を追加しました。並列版もあります。

PEGASUS CD-ROM 2013/12/26 版

RGS3D
- 長さの単位系として nm (ナノメートル)を選択した場合の不具合を修正しました。
- モニタリング点が定義されていない場合に排気速度の時刻歴 ps_monitor.gtd の出力が正しくない不具合を修正しました。
DSMCM
- 気相反応を考慮する機能を追加しました。
- 圧力制御境界の制御の仕方を、反射率を制御する方式から、隣接するセルの分圧の比率に応じた流量を流入させる方式に変更しました。
PIC-MCCM 3D
- z方向の周期境界条件の不具合を修正しました。

PEGASUS CD-ROM 2013/06/21 版

GUIM
- 気相モジュールで構造物内に物理量が存在しない場合は、構造物を白抜きで表示し、最小値は解析領域での値を表示するようにしました。
- カラーコンターで中間値を表示するようにしました。
- コンターラインが表示できるようにしました。
- ``ガス種、反応式の選択'' 画面で、各反応式において断面積データもしくはレート定数をグラフで表示するようにしました。
- 時刻歴データの表示画面で、表示すべき個数が多いときは、番号と線種を枠外に表示するようにしました。
ECSDB データベース
- [重要] 窒素、酸素、および窒素酸素化合物に関する今までの粒子種を見直し、粒子種データベースの内容を変更しました。またそれにともない、関連する反応の衝突断面積／レート定数のデータベースも変更しました。粒子種の変更に関しては、別途配布の「窒素、酸素、および窒素酸素化合物に関する粒子種」をご参照下さい。また反応式につきましてはPEGASUS使用説明書（２次元版）の第5.7節「粒子種番号と反応式番号」をご参照下さい。
- [重要] 上記変更にともない粒子種番号が変更されましたので、PIC-MCCM、PHM、 DSMCM、およびNMEM で窒素あるいは酸素を用いたシミュレーションのインプットデータはそのままでは新しいデータベースに対応しません。その場合には GUIM の``ガス種、反応式の選択'' であらためて粒子種と反応式を選択し直した後、境界条件と制御パラメータを粒子種との対応が取れるように修正してください。うまく移行できない場合には、弊社にお問い合わせ下さい。
- フッ素分子の励起、電離反応を追加しました。
PHM
- 今までの計算手順では、１回の反復において電子・イオンの輸送計算を先に行なった後で電子のモンテカルロ計算（EMCSM）を実行していましたが、この順番を逆にしました。すなわちまず電子のモンテカルロ計算を行なった後電子・イオンの輸送計算を行うようにしました。
NMEM
- 計算の途中で圧力がゼロなど非現実的な値になった場合、エラーメッセージを出力し、強制的に実行を終了するようにしました。
FPSM2D/FPSM3D
- 反応確率タイプを追加しました。
HTRM2D [新モジュール]
- 物体表面間の放射伝熱を考慮した２次元熱伝導解析モジュール HTRM2D (Heat Transfer with Radiation Module 2D)を新たにリリースしました。使用方法に関しては、「PEGASUS/HTRM2D 使用説明書」をご参照下さい。