ICP型エッチング装置内のプラズマ解析(SF6ガス)

計算条件

SF6ガスの解析例です。装置内で生成する多種のラジカル分子の密度分布と、イオン、電子の分布をセルフコンシステントに求めます。PHMとDSMCMのカップリング解析を行いました。