製品情報
PEGASUSとは
プラズマ材料プロセス／希薄気体統合シミュレーションツール PEGASUS (Plasma Enhanced materials processing and rarefied GAS dynamics Unified Simulation tools) は、半導体製造技術、プラズマプロセス、真空技術における
- 装置の設計・開発・改良・評価
- 材料、デバイスの開発・製造
- プロセス技術の予測・開発・改良
の効率化、実験及び試作コストの軽減を目的とした支援シミュレータです。
製品構成
PEGASUSは複数のモジュールで構成されるソフトウェア群の総称です。 それぞれのモジュールを気相状態をシミュレートするモジュール群 (2、3次元気相シミュレータ) 』と 『基板表面の状態をシミュレート するモジュール群』(表面科学系シミュレータ) そして『基板表面の 形状をシミュレートするモジュール』（2、3次元表面形状シミュレー タ） の3つに分類しています。
それぞれのモジュールは単体で稼動し、個別の計算結果を出力しま す。 また、幾つかのモジュールは組み合わせて使用することができ、 複数の物理現象を考慮にいれて計算することもできます。
モジュール
2次元気相シミュレータ
装置内の、プラズマ（イオン、電子）や中性粒子（装置内を流れるバッファガスやプラズマにより生成したラジカル種）の分布等を計算するモジュール群です。 2次元直交メッシュの範囲内でのモデルを取り扱います。
Plasma Hybrid Module
プラズマハイブリッドモジュール。 イオンを連続体モデルで、電子は粒子モデルあるいは連続体モデルで取り扱い、 装置内のプラズマの密度分布等を計算するモジュールです。
Particle In Cell with Monte Carlo Collision Module
プラズマ PIC-MCC モジュール。 イオン、電子とも粒子モデルで取り扱い、装置内のプラズマの密度分 布等を計算するモジュールです。
Neutral Momentum Equation Module
中性粒子連続体モジュール。連続体モデルで中性粒子 の密度分布等を計算するモジュールです。
Direct Simulation Monte Carlo Module
中性粒子 DSMC モジュール。 粒子モデル(DSMC法およびテスト粒子モンテカルロ法)により、 中性粒子の密度分布等を計算するモジュールです。
Magneto Static Simulation Module
静磁場解析モジュール（Magneto Static Simulation Module; MSSM）は、永久磁石や磁場コイルによる静磁場を解析するモジュールです。
3次元気相シミュレータ
3次元形状で、装置内の物理量を計算します。
Particle In Cell with Monte Carlo Collision Module 3D
プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール (PIC-MCCM) の3次元版 です。直交メッシュのモデル化でプラズマの3次元計算を行います。
Magneto Static Simulation Module 3D
静磁場解析モジュールの 3次元版です。
3D Rarefiled Gas dynamics Simulation software
DSMC法を用いて中性粒子の密度、温度、圧力分布等 を計算する3次元希薄気体挙動解析ソフトウェアです。 任意形状のメッシュを用いた計算が可能です。
表面科学系シミュレータ
ターゲット（半導体ウエハや種々の薄膜の表面）の状態について計算するためのモジュール群です。
Sheath Monte Carlo Simulation Module
シース内の荷電粒子の運動を追跡して、イオンエネルギー分布等を求めるモジュールです。
Simulation of Atomic Scattering in Amorphous MAterial based on Liquid model
2体衝突近時に基づく動的モンテカルロシミュレーションソフトウェアです。
SPUTputtering Simulation Module
PIC-MCCM 計算の結果得られたイオンエネルギーやイオンフラックスを用いてスパッタ粒子の放出フラックスや放出エネルギーを求めます。内部で SASAMAL を呼び出しています。
表面形状シミュレータ
基板上のマイクロスケールのホール、トレンチなどの形状変化を追跡するモジュールです。2次元版と3次元版があります。
CONTAMI2D
コンタミ成長シミュレーションモジュール(CONTAMI2D) は、炭化水素系有機ガス中で 電子ビーム入射により試料上に固着するコンタミ(炭素)の成長過程を解析する モジュールです。
Feature Profile Simulation Module 2D
PVD,プラズマCVD,ドライエッチングなどの基板、堆積膜形状の経時変化を計算するモジュールです。
Feature Profile Simulation Module 3D
3次元版の堆積膜形状の経時変化を計算するモジュールです。
ユーザーインターフェイス
Graphical User Interface Module
PEGASUSの各モジュールの実行制御や、プリプロセッサ、ポスト処理を行うための グラフィカル・ユーザー・インターフェイスです。 PEGASUSの全てのモジュールは、このGUIMを通して実行することが出来ます。 GUIM はライセンスなしでご利用頂けます