真空蒸着膜厚の実験結果との比較計算
計算条件
蒸発原子：Au
背景ガスAr圧力：1.8E-3, 0.05, 0.1, 0.415, 0.867 [Pa]
ご提供：千葉大学 工学部 電子機械工学科 中村 雅一 助教授
計算結果
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実験結果との比較 Arガス圧力依存性
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蒸発原子の密度、温度、圧力、速度空間分布および基板上フラックス分布
蒸発原子：Au
背景ガスAr圧力：1.8E-3, 0.05, 0.1, 0.415, 0.867 [Pa]
ご提供：千葉大学 工学部 電子機械工学科 中村 雅一 助教授
