コンタミ成長シミュレーションモジュール CONTAMI2D コンタミ成長シミュレーションモジュール(CONTAMI2D) は、炭化水素系有機ガス中で電子ビーム入射により試料上に固着するコンタミ(炭素)の成長過程を解析するモジュールです。 計算手法の概要 計算モデルは下記素過程を考慮した１次元拡散方程式(軸対称系を含む)を解きます。 素過程とは、吸着レート、脱着レート、試料表面上での拡散効果そして、電子ビームによる有機物の 架橋・重合等々によるコンタミネーション変異レートです。 解法は次の４段階により所定の時間に達するまで繰り返します。 (1) コンタミナントの成長に伴い、表面を構成する線分列の基本幾何量を計算します。 (2) コンタミナント以外の生成消滅に関わる拡散方程式を解きます。 (3) コンタミナント生成に伴う炭化水素消滅量を計算し、当該量をもってコンタミナント生成量とします。 (4) コンタミナント生成量(面積数密度)から生成体積を計算し、セルの体積占有率を更新します。 入力項目 軸対称モデルでの試料（基板）の幾何形状をGUIにより定義します。 物理量として、有機物分圧、気相温度、脱着時定数、コンタミ化衝突断面積、 脱離衝突断面積、電子ビーム照射レート、表面拡散係数などを設定します。 出力項目 有機ガスの圧力分布、固体層（試料：基板、コンタミ：炭素）の占有率、 固体層全体の占有率および表面形状、電子ビーム形状 計算例 コンタミ成長シミュレーション
