スパッタリング・シミュレーション・モジュール
スパッタリング・シミュレーション・モジュール(SPUTtering Simulation Module; SPUTSM)は、PIC-MCCMの計算結果(ターゲットへの入射イオンフラックス、入射エネルギー、入射角)を参照し、SASAMALを用いて、スパッタリング粒子の放出フラックスや角度分布、エネルギーを計算するモジュールです。
スパッタリング・シミュレーション・モジュール(SPUTtering Simulation Module; SPUTSM)は、PIC-MCCMの計算結果(ターゲットへの入射イオンフラックス、入射エネルギー、入射角)を参照し、SASAMALを用いて、スパッタリング粒子の放出フラックスや角度分布、エネルギーを計算するモジュールです。