静磁場解析モジュール
静磁場解析モジュール（Magneto Static Simulation Module; MSSM）は、永久磁石や磁場コイルによる静磁場を解析するモジュールです。
計算手法の概要
MSSMは、永久磁石やコイルによる静磁場を２次元体系で高速に解析するモジュールです。マグネトロンスパッタ装置内や磁場コイルを持つ装置内の静磁場を計算し、その結果をPIC-MCCMによるプラズマ解析に容易に引き渡すことができます。
MSSMは株式会社ミューテック と共同開発しました。
静磁場解析モジュール（Magneto Static Simulation Module; MSSM）は、永久磁石や磁場コイルによる静磁場を解析するモジュールです。
MSSMは、永久磁石やコイルによる静磁場を２次元体系で高速に解析するモジュールです。マグネトロンスパッタ装置内や磁場コイルを持つ装置内の静磁場を計算し、その結果をPIC-MCCMによるプラズマ解析に容易に引き渡すことができます。
MSSMは株式会社ミューテック と共同開発しました。