3次元表面形状シミュレーションモジュールFPSM3D

FPSM3D

計算手法の概要

3次元表面形状シミュレーションモジュールFPSM3D（Feature Profile Simulation Module-3D； FPSM3D）は、 粒子モンテカルロ法により、基板表面での様々な反応を考慮し、基板、堆積膜の経時変化を計算するモジュールです。PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能です。

入力項目

3次元直交メッシュで定義されますが、初期形状は円形ホール、円柱を与えることも可能です。 入射粒子情報（粒子フラックス、入射エネルギー・角度分布）はPEGASUS気相モジュール、PEGASUS表面科学系モジュールからの出力を使用するか、もしくはFPSM3Dが備えている入力方法で使用者が指定します。

出力項目

堆積膜、基板などの固体層の形状（固体占有率分布） 反応生成ガス種の密度分布、速度分布 気相への流出フラックス、流入粒子種の失活確率

計算例