2次元表面形状シミュレーションモジュールFPSM2D
2次元表面形状シミュレーションモジュールFPSM2D（Feature Profile Simulation Module-2D； FPSM2D）は、 粒子モンテカルロ法により、基板表面での様々な反応を考慮し、基板、堆積膜の経時変化を計算するモジュールです。PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能です。
計算手法の概要
FPSM2Dは、粒子モンテカルロ法を用い、セル法により固体層占有率、表面被覆率を考慮し形状を表現します。このときセル法特有のシャープな境界面は用いず、固体層占有率による勾配から入射角を決定し、入射角依存の鏡面反射確率、反応確率に適用します。ガス種、反応式、錯体、そしてポリマーなどの数には制限はありません。