SASAMAL計算例

計算条件

宮川主任研究員は数10keVから数MeVの高エネルギー、高線量のイオン注入による材料改質の研究で、SASAMALを用いた多くの成果を出されています。ここではPEGASUSの主な対象である、比較的低い(数100eV程度の)入射イオンエネルギーでの計算例を紹介いたします。

計算結果

  • Niターゲットに各種イオンを入射したときのスパッタリング率

    Niターゲットに各種イオンを入射したときのスパッタリング率