真空蒸着膜厚分布検証計算
計算条件
RGS3Dによる膜厚面内分布の計算結果と文献との比較を行った検証計算です。
計算結果
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![基板面内粒子束分布 [#/m^2/s] 装置内圧力分布 [Pa] （常用対数表示）](http://www.psinc.co.jp/assets_c/2015/06/result-thumb-300xauto-191.gif)
基板面内粒子束分布 [#/m^2/s] 装置内圧力分布 [Pa] （常用対数表示）
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膜厚分布の理論値と計算結果との比較結果
RGS3Dによる膜厚面内分布の計算結果と文献との比較を行った検証計算です。
RGS3Dによる膜厚面内分布の計算結果と文献との比較を行った検証計算です。
![基板面内粒子束分布 [#/m^2/s] 装置内圧力分布 [Pa] （常用対数表示）](http://www.psinc.co.jp/assets/img/result.gif)
基板面内粒子束分布 [#/m^2/s] 装置内圧力分布 [Pa] （常用対数表示）
膜厚分布の理論値と計算結果との比較結果