計算条件

DSMCMによる計算例です。cmのオーダーでの計算で基板付近でのスパッタ粒子の速度分布関数を求めてから、 μm のオーダーの計算でトレンチへの各部分へ到達するスパッタ粒子のフラックス分布を予測します。