PIC-MCCMとDSMCMの カップリング解析例

計算条件

  • 円筒座標系
  • 交流電圧 Vrf=200[V], 13.56[MHz]
  • ガス H_2(水素) 250[mTorr], SiH4(シラン) 20[mTorr]
  • 磁場分布はあらかじめ別途計算して、PIC-MCCM での計算の入力データとして用いる

計算結果

  • 密度分布　電子

    密度分布　電子

  • 密度分布　H2

    密度分布　H2

  • 密度分布　H2+

    密度分布　H2+

  • 密度分布　H2*

    密度分布　H2*

  • 密度分布　SiH3

    密度分布　SiH3

  • 密度分布　SiH3-

    密度分布　SiH3-

  • 密度分布　SiH3+

    密度分布　SiH3+

  • 密度分布　SiH2

    密度分布　SiH2

  • 密度分布　SiH4

    密度分布　SiH4

  • 電位分布

    電位分布