Ar/Cl2 混合ガス流れ

計算条件

• 流入温度 300K
• 圧力 100mTorr
• 流入量 500sccm (Cl2:Ar = 30:70)
• 基板温度 373K

計算結果

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  Ar密度分布

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  Cl2密度分布

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  速度分布

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  温度分布