ICP型エッチング装置内のプラズマ解析
計算条件
![ICP型エッチング装置内のプラズマ解析](http://www.psinc.co.jp/assets_c/2015/05/reactor-1-thumb-370xauto-17.gif)
計算結果
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電子密度
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電子温度
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電位分布
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EEDF(電子エネルギー分布関数)
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パワー吸収分布
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|Eθ|電界分布
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Cl2(+)イオン密度
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Cl(+)イオン密度
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Cl(-)イオン密度
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Cl2密度
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Cl密度