GEC型の装置内のプラズマ分布

計算条件

  • 円柱座標系
  • アルゴンガス圧 50mTorr
  • 印加電圧 Vrf = 50V

計算結果

  • 粒子種１（電子）密度

    粒子種１（電子）密度

  • 粒子種１（電子）温度

    粒子種１（電子）温度

  • 粒子種１（電子）電離レート

    粒子種１（電子）電離レート

  • 粒子種１（電子）密度時刻歴

    粒子種１（電子）密度時刻歴

  • 粒子種２（Ar+）密度

    粒子種２（Ar+）密度

  • 粒子種２（Ar+）温度

    粒子種２（Ar+）温度

  • 粒子種２（Ar+）電離レート

    粒子種２（Ar+）電離レート

  • 粒子種２（Ar+）密度時刻歴

    粒子種２（Ar+）密度時刻歴