CF系プラズマによるSiO2エッチング
計算結果
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T=120 [s] SiO2層
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T=240 [s] SiO2層
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ポリマー層(T=120 [s] )
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ポリマー層(T=240 [s] )
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固体層(T=120 [s] )
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固体層(T=240 [s] )