CCP型GEC装置内のプラズマ解析検証計算(2)

計算条件

参考文献：Shahid Raul and Mark J. Kushner,"Argon metastable densities in radio frequency Ar,Ar/O2 and Ar/CF4 electrical discharges", Journal of Applied Physics, Vol.82,No.6,1997

計算結果

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  Ar(+)電離レートと電子密度分布

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  静電位と電子温度分布

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  Ar(+)電離レートと電子密度分布

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  Ar(4s)の密度分布（拡大図）

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  Ar(4s)z軸方向分布