3次元のイオンビーム軌道解析

計算条件

• イオン加速電圧 : 20kV
• 電流密度 : 20μA/cm2
• ビーム径φ : 20mm
• 電極間距離 : 40mm
• 電極幅 : 20mm
• 電極間電圧 : 2kV
• 基板～電極間距離 : 712mm
• 真空度 : 9.6e-3 Pa　

計算結果

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  ビームの軌道

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  ビームの断面図