3次元 CCP プラズマ

計算条件

3次元 CCP プラズマ
  • ガス Ar 50mTorr
  • 電極 Vrf=100V, 13.56MHz
  • 電極基板距離 30mm

計算結果

  • 電子密度

    電子密度

  • 電子密度

    電子密度

  • 電子密度

    電子密度

  • 電子密度

    電子密度

  • 電位分布

    電位分布

  • 電位分布

    電位分布

  • 電位分布

    電位分布

  • 電位分布

    電位分布

CCPの3次元計算を行いました。

200x100x90 のメッシュ分割で、計算に必要なメモリ量 3.5Gbyte程度でした。 およそ 30μsec のシミューレション時間で定常状態に到達しましたが、 その 30μsec を計算するのにかかった時間は、Intel Xeon E5507@2.27GHz の 計算機 (2010年発売のCPU、あまり新しくない) で30日程度でした。